離子減薄儀

離子減薄用于TEM樣品的制備，適用于多種材料，對(duì)樣品導(dǎo)電性沒(méi)有要求。它的基本原理是利用離子束轟擊樣品，使之穿孔，從而制得中間薄、周?chē)竦腡EM樣品。